二氧化碳发泡机CO2 bubbler 纯水电阻率调节机 防静电装置
超纯水防静电装置作用:
超纯水防静电装置,又称co2 bubbler(二氧化碳发泡机),去离子水电阻率调节装置,加碳机等等。其原理是向高电阻率的纯水中添加二氧化碳,在水中产生适量的离子增强纯水的导电性,降低纯水的电阻率,防止在划片制程、清洗等半导体加工过程中产生静电损伤产品,消除硅屑的静电吸附便于清洗干净,*后烘干后二氧化碳挥发不残留任何杂质,不造成二次污染。超纯水防静电装置和设备,可有效控制微电子工业生产制程中的静电微害,防止静电吸附导致产品因静电放电受到损伤,防止静电破坏和微粒子的附着,大大提高产品良品率,降低生产成本。
“Superbrane”品牌超纯水防静电装置简介::
由深圳超纯环保公司生产的“ULTRAPURE”品牌超纯水防静电设备,电阻率在0.15-2.0MΩ·cm之间自由设定,*大产水量达1200、2400、3000升/小时,可一对一、一拖多模式稳定运行,各项技术参数均不低于、并超过国际国内同类产品,得到用户广泛好评。经过我公司技术人员努力攻关,该产品的核心技术目前已由我公司获得了国家专利局授予的专利权,我们拥有该类产品核心技术的自主知识产权。
设备原理:
本公司经过多年的研发和试验,生产超纯水防静电装置,本装置全部采进口优质材料,设计原理是通过膜接触器来实现超纯水的洁净CO2无污染注入。膜接触器的特点是气体可以透析式穿过膜表面均匀溶解到水里,而水和微粒杂质却很难透过膜。用这种特制膜将CO2气体和超纯水隔开,通过设备中的精密调节装置可以控制CO2在水中的溶解量,从而实现精确控制水的电阻率。产品水的电阻率可以很方便且精确地调整到0.2-18MΩ·cm范围内。该产品已经申请专利,广泛应用于微电子和半导体行业,价格只有进口产品的三分之一,经过多家客户两年的测试评价,结论是完全可以是替代进口产品。
设备特点:
1、全部材料采用进口超纯水管配件和仪表
2、设备结构简单紧凑,占地少,安装方便,故障率低
3、零延迟响应流量变化,保证产水电阻率的高稳定性
4、用气省,耗电少,节能环保
5、低用水流量情况下电阻率值的精确稳定控制
6、产品水的电阻率可以很方便且精确地调整到0.2-2MΩ·cm范围内
7、纯机械静态方式工作,故障率极低;
8、采用*先进透气膜方式以及无需空气切入,产水品质完全超越同类产品。
适用行业:
1、微电路芯片切割和清洗
3、光掩膜切割和清洗
4、晶元片切割和清洗
5、半导体硅片切割和清洗
6、太阳能电磁片切割和清洗
7、TFT面板切割和清洗
8、特殊工业的控制超纯水电阻